微流控芯片、MEMS 精密加工供氣解決方案

一、項目基礎信息

客戶單位：蘇州含光微納科技有限公司

應用場景：微流控芯片、MEMS 精密加工實驗室集中供氣

配套設備清單

氣源前置：Flairmo A200.25AS 一體式靜音無油空壓機（支持 - 70℃超低壓力露點干燥配置）

后端制氮主機：Flairmo N2G 氮氣發生器

輔助配套：立式儲氣穩壓罐，穩定管路供氣壓力

客戶核心業務背景

企業主營微流控生物芯片、MEMS 微納器件精密研發與代工，千級潔凈實驗室對壓縮空氣、氮氣氣源的無油、低露點、高潔凈度要求嚴苛，氣源雜質、水汽會直接造成微結構芯片加工瑕疵、芯片鍵合失效，影響檢測芯片精度與良率。

二、客戶原有痛點

氣源潔凈度不達標

普通空壓機存在潤滑油揮發、管路油污殘留，微流控微米級流道極易被油污堵塞，破壞芯片微結構；

干燥度不足

常規氣源露點僅 - 40℃，水汽進入潔凈車間會導致芯片、模具受潮，鍵合工序出現分層、氣泡缺陷；

供氣壓力波動

單獨小型空壓機無穩壓緩沖，制氮設備進氣壓力不穩，氮氣純度持續波動，無法滿足微納加工恒定工藝標準；

實驗室環境限制

研發潔凈...

N2G 15C氮氣發生器

Flairmo A200.25AS 空壓機 + N2G 15C 氮氣發生器 蘇州含光微納實驗室供氣應用案例

一、項目基礎信息

客戶單位：蘇州含光微納科技有限公司

應用場景：微流控生物芯片、MEMS 微納器件研發與精密加工實驗室集中供氣

成套設備配置

前置氣源：Flairmo A200.25AS 一體式靜音無油空壓機（選配 - 70℃深度干燥模塊，標配 AC 活性炭過濾器除油）

制氮主機：Flairmo N2G 15C 氮氣發生器

輔助配套：立式儲氣穩壓罐，緩沖氣流、穩定管路輸出壓力

客戶業務背景

公司主營微流控芯片、IVD 診斷耗材、MEMS 器件定制研發與量產加工，實驗室為千級潔凈環境；微米級芯片流道、低溫鍵合、芯片封裝工序，對壓縮空氣、氮氣氣源的無油、超低露點、純度穩定性有著高標準，油污、水汽、壓力波動會直接造成芯片報廢、檢測數據失真。

二、客戶原有供氣痛點

氣源含油污染風險

普通有油空壓機潤滑油揮發，管路殘留油污會堵塞微流控微小通道，破壞芯片精密微結構，導致成品良率下降；

干燥度無法滿足工藝要求

常規設備壓力露點僅 - 40℃，水汽進入潔凈車間會造成模具、芯片基材受潮，鍵合工藝出現分層、氣泡缺陷；

進氣壓力波動，氮氣純度不穩定

小型簡易空壓機無穩壓緩沖，制氮機進氣壓力持續波動，氮氣純度忽高忽低，不匹配 MEMS 蝕刻、芯片封裝的恒定工藝標準；

設備分散，運維繁瑣

分體式空壓機、干燥機、過濾器占用大量實驗室空間，人工定期排水、更換濾芯增加實驗室運維工作量。

三、Flairmo 成套氣源解決方案優勢

1. A200.25AS 空壓機（氣源前端保障）

超深度干燥：可選配模塊實現 **-70℃壓力露點 **，消除水汽，杜絕芯片受潮缺陷；

全鏈路除油：無油活塞主機 + AC 活性炭過濾器雙重除油，輸出零油壓縮空氣，適配潔凈實驗室標準；

一體式集成設計：內置 25L 儲氣罐、吸干系統、三級精密過濾，底部帶移動腳輪，占地面積小，適配實驗室緊湊布局；

低運維設計：冷凝水蒸發系統，無需外接排水管道；智能屏幕自動記錄運行數據、維保提醒；56dB 低靜音運行，不干擾實驗室操作；

穩定供氣流量 200L/min，100% 連續運行，持續為 N2G 15C 提供穩定進氣。

2. N2G 15C 氮氣發生器（工藝終端供氣）

依托前端 A200.25AS 產出的超潔凈干燥壓縮空氣，產出高純氮氣：

穩定氮氣產出流量 15L/min，純度恒定，滿足微流控芯片吹干、MEMS 器件保護、封裝惰性保護需求；

配套自動穩壓、純度監控模塊，進氣壓力波動耐受范圍寬，搭配儲氣罐后輸出壓力無波動；

不銹鋼整機外殼，耐腐蝕易清潔，適配千級潔凈室無塵使用環境；

模塊化濾芯結構，更換簡單，維護周期長，適配企業量產實驗室長期不間斷使用。

3. 整套系統配套儲氣罐作用

緩沖空壓機氣流脈沖，消除壓力波動，保障氮氣發生器進氣壓力恒定，氮氣純度持續穩定，避免工藝中途參數偏移。

四、現場實拍設備說明

實拍圖成套設備布局：前景白色柜體為 Flairmo A200.25AS 靜音無油空壓機；后方不銹鋼箱體為 N2G 15C 氮氣發生器；左側立式罐體為穩壓儲氣罐，構成完整 “空壓機→儲氣緩沖→氮氣發生器" 潔凈供氣鏈路。

五、項目落地使用效果

氣源指標全面達標

壓縮空氣露點穩定 - 70℃、無油氣殘留，N2G 15C 輸出氮氣純度恒定，匹配微流控芯片、MEMS 加工嚴苛工藝規范；

芯片生產良率提升

解決油污堵塞流道、水汽鍵合分層等缺陷，芯片報廢率顯著降低；

實驗室使用優化

一體式機型占地面積小、運行噪音低，全自動冷凝水處理大幅減少人工維護工時；整套系統 7×24 小時連續穩定運行，適配企業研發 + 小批量試制不間斷生產需求；

標準化可復制方案

該套 Flairmo 空壓機 + N2G 制氮機成套氣源方案，可直接復用至半導體、生物芯片、精密分析儀器各類實驗室供氣項目。

六、方案總結

針對微流控、MEMS 精密加工潔凈實驗室場景，Flairmo A200.25AS 超低溫露點空壓機搭配 N2G 15C 氮氣發生器，從氣源前端深度除油干燥到終端高純制氮形成閉環潔凈供氣系統，解決蘇州含光微納氣源污染、濕度超標、壓力不穩等核心痛點，是生物芯片、微納制造實驗室標準化供氣解決方案。